無塵室環境量測儀器設備

特點:

  • 用於半導體晶圓、光學元件、積體電路板等表面微粒子檢測
  • 對曝光機 ,顯影機 ,蝕刻、 黃光偏光板貼附機台效果顯著;
  • 可快速測量設備表面 ,即時顯示顆粒數值 ,確認機台、零件表面潔淨度 能降低清洗維護成本 ,提高設備維護效率;
  • 可確認產品制程前後的粒子分佈情況 ,以確定污染源; 配備多種異形探測頭 ,滿足客戶多樣化需求;
  • 自淨時間短 ,預防保護維護(PM) 週期少 ,效率高
  • 0.1um
  • 0.3um
  • 1CFM (28.3L/min)

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