無塵室環境量測儀器設備
表面微粒子計數器 HAOSEN
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特點:
- 用於半導體晶圓、光學元件、積體電路板等表面微粒子檢測
- 對曝光機 ,顯影機 ,蝕刻、 黃光偏光板貼附機台效果顯著;
- 可快速測量設備表面 ,即時顯示顆粒數值 ,確認機台、零件表面潔淨度 能降低清洗維護成本 ,提高設備維護效率;
- 可確認產品制程前後的粒子分佈情況 ,以確定污染源; 配備多種異形探測頭 ,滿足客戶多樣化需求;
- 自淨時間短 ,預防保護維護(PM) 週期少 ,效率高
- 0.1um
- 0.3um
- 1CFM (28.3L/min)
產品介紹| Product description |
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新竹:03-5973308
台南:06-5837912
min@haosheng-hc.com.tw
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